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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 竹井 敏
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Water-developable fluorine resist material derived from biomass in EUV lithography
- タイトル（掲載誌）
- 旭硝子財団助成研究成果報告 = Reports of research assisted by the Asahi Glass Foundation
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 2015
- 掲載ページ
- 1-5
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2015
- ISSN（掲載誌）
- 1882-0069