電磁駆動型シリコンMEMSレゾネータ

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電磁駆動型シリコンMEMSレゾネータ

国立国会図書館請求記号
YH247-299
国立国会図書館書誌ID
028683399
資料種別
記事
著者
渡部 善幸ほか
出版者
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
出版年
2017
資料形態
記録メディア
掲載誌名
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34:2017.10.31-11.2
掲載ページ
p.1-5
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書誌情報

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記録メディア

資料種別
記事
著者・編者
渡部 善幸
矢作 徹
阿部 泰
村山 裕紀
並列タイトル等
Electromagnetic Silicon MEMS Resonator
タイトル(掲載誌)
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
巻号年月日等(掲載誌)
34:2017.10.31-11.2
掲載巻
34
掲載ページ
1-5
掲載年月日(W3CDTF)
2017