全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 福江 紘幸岡野 忠之黒岩 雅英國次 真輔太田 裕己米澤 健中谷 達行
- 並列タイトル等
- Relationship between discharge characteristics and thin film properties in DLC film deposition using high frequency-high power impulse magnetron sputtering method
- タイトル（掲載誌）
- フロンティア理工学研究所研究報告 = The bulletin of Research Institute of Frontier Science and Technology / 岡山理科大学フロンティア理工学研究所 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (3):2021.12
- 掲載号
- 3
- 掲載ページ
- 9-12
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2021-12