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雑誌 電子資料日本結晶成長学会誌
不純物と熱応力の効果...

不純物と熱応力の効果を考慮したCz法によるシリコン単結晶成長における点欠陥挙動に関する数値解析 (特集 バルク結晶の欠陥・不純物の制御と評価)

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不純物と熱応力の効果を考慮したCz法によるシリコン単結晶成長における点欠陥挙動に関する数値解析

(特集 バルク結晶の欠陥・不純物の制御と評価)

国立国会図書館請求記号
YH247-1397
国立国会図書館書誌ID
032645919
資料種別
記事
著者
向山 裕次ほか
出版者
東京 : 日本結晶成長学会
出版年
2022
資料形態
記録メディア
掲載誌名
日本結晶成長学会誌 Journal of the Japanese Association for Crystal Growth 49(4):2022
掲載ページ
p.1-8
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書誌情報

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記録メディア

資料種別
記事
著者・編者
向山 裕次
末岡 浩治
並列タイトル等
Numerical simulations considering effects of thermal stress and impurities on the behavior of intrinsic point defects in Si crystal growing by Cz method
タイトル(掲載誌)
日本結晶成長学会誌 Journal of the Japanese Association for Crystal Growth
巻号年月日等(掲載誌)
49(4):2022
掲載巻
49
掲載号
4