Al Kα 線と Cr Kα 線の情報深さの違いを利用したXPS・HAXPES分析事例の紹介
デジタルデータあり（科学技術振興機構）
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 橋本 真希
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Case Studies of XPS and HAXPES analysis Based on the Differences in Information Depth between Al Kα and Cr Kα
- タイトル（掲載誌）
- Journal of surface analysis / 表面分析研究会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 31(3):2025.3
- 掲載巻
- 31
- 掲載号
- 3
- 掲載ページ
- 249-252
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2025-03
- ISSN（掲載誌）
- 1341-1756
- ISSN-L（掲載誌）
- 1341-1756
- 出版事項（掲載誌）
- 東京 : 表面分析研究会
- 出版地（国名コード）
- JP
- 本文の言語コード
- jpn
- NDLC
- 対象利用者
- 一般
- 所蔵機関
- 国立国会図書館
- 請求記号
- Z15-B66
- 連携機関・データベース
- 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
- 書誌ID（NDLBibID）
- 034060495
- 整理区分コード
- 632
- 要約等
- In X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS), the information depth of photoelectrons using Al Kα (energy: 1486.6 eV) is approximately 5–10 nm. In contrast, Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy (HAXPES), such as Cr Kα (5414.8 eV), which utilizes higher-energy X-rays, can extend the information depth up to about three times that of Al Kα. The deeper information depth of the Cr Kα can be used to avoid damage caused by sputtering. Additionally, combining HAXPES with angle-resolved measurements provides the chemical and elemental distributions from deeper regions. This article introduces applications of these measurement techniques using actual samples.X線光電子分光法（XPS: X-ray Photoelectron Spectroscopy）において，一般に用いられるAl Kα線（エネルギー 1486.6 eV）で検出できる光電子の情報深さは5～10 nm程度である．一方，より高エネルギーのX線を使用した硬X線光電子分光法（HAXPES: Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy）では，Cr Kα線（5414.8 eV）を利用することで，情報深さをAl Kα線の約3倍まで拡張することが可能である．Cr Kα線のより深い情報深さを利用することで，スパッタリングによるダメージを回避することができ，さらに，HAXPESと角度分解測定の組み合わせにより，より深部の濃度分布情報を取得することができる．本稿では，これらの測定の実試料による応用事例を紹介する．
- DOI
- 10.1384/jsa.31.249
- オンライン閲覧公開範囲
- インターネット公開
- 連携機関・データベース
- 科学技術振興機構 : J-STAGE
- 要約等
- X線光電子分光法（XPS: X-ray Photoelectron Spectroscopy）において，一般に用いられるAl Kα線（エネルギー 1486.6 eV）で検出できる光電子の情報深さは5～10 nm程度である．一方，より高エネルギーのX線を使用した硬X線光電子分光法（HAXPES: Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy）では，Cr Kα線（5414.8 eV）を利用することで，情報深さをAl Kα線の約3倍まで拡張することが可能である．Cr Kα線のより深い情報深さを利用することで，スパッタリングによるダメージを回避することができ，さらに，HAXPESと角度分解測定の組み合わせにより，より深部の濃度分布情報を取得することができる．本稿では，これらの測定の実試料による応用事例を紹介する．
- DOI
- 10.1384/jsa.31.249
- 関連情報（URI）
- 連携機関・データベース
- 国立情報学研究所 : CiNii Research
- 提供元機関・データベース
- Japan Link Center雑誌記事索引データベースCrossref
- 書誌ID（NDLBibID）
- 034060495