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雑誌電気学会研究会資料 EPP
巻号2025(46-57):2025.6.11
記事単結晶ダイヤモンド成...

単結晶ダイヤモンド成長用鋸波変調誘導熱プラズマに対する原料CH₄ガス間歇供給遅れ時間の影響 (放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー)

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単結晶ダイヤモンド成長用鋸波変調誘導熱プラズマに対する原料CH₄ガス間歇供給遅れ時間の影響

(放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー)

国立国会図書館請求記号
Z43-224
国立国会図書館書誌ID
034276249
資料種別
記事
著者
松田 航征ほか
出版者
東京 : 電気学会
出版年
2025-06-11
資料形態
紙
掲載誌名
電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編] 2025(46-57):2025.6.11
掲載ページ
p.41-46
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紙

資料種別
記事
タイトル
単結晶ダイヤモンド成長用鋸波変調誘導熱プラズマに対する原料CH₄ガス間歇供給遅れ時間の影響
著者・編者
松田 航征
田中 康規
中野 裕介
石島 達夫
シリーズタイトル
放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー
著者標目
松田 航征
田中 康規
中野 裕介
石島 達夫
並列タイトル等
Effect of Delay Time of Intermittent Injection of CH₄ Gas on Saw-Wave Modulated Induction Thermal Plasma for Single Crystal Diamond Growth
タイトル（掲載誌）
電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編]
巻号年月日等（掲載誌）
2025(46-57):2025.6.11
掲載巻
2025
掲載号
46-57