半導体テスト・システムにおける薄型間接水冷コールド・プレートの開発 (特集 地方発次世代半導体産業)
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 與田 泰史安野 秀彦菅井 勝士土井 敦之
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Low-Profile Water-Cooled Cold Plate for Semiconductor Test System
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 91(8)=1088:2025.8
- 掲載巻
- 91
- 掲載号
- 8