高精度テラヘルツ時間分解エリプソメトリによるワイドバンドギャップ半導体の伝導特性評価

• 資料種別: 記事
• タイトル: 高精度テラヘルツ時間分解エリプソメトリによるワイドバンドギャップ半導体の伝導特性評価
• 著者・編者: 中嶋 誠; 趙 梓茜; Verdad C. Agulto; 加藤 康作; 岩本 敏志
• シリーズタイトル: 特集 次世代通信システム関連材料と技術
• 著者標目: 中嶋 誠; 趙 梓茜; Verdad C. Agulto; 加藤 康作; 岩本 敏志
• 並列タイトル等: High-Precision Terahertz Time Domain Ellipsometry for Evaluation of Conduction Properties in Wide Bandgap Semiconductors
• タイトル（掲載誌）: 機能材料
• 巻号年月日等（掲載誌）: 44(12)=520:2024.12
• 掲載巻: 44
• 掲載号: 12
• 掲載通号: 520
• 掲載ページ: 31-38
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2024-12
• ISSN（掲載誌）: 0286-4835
• ISSN-L（掲載誌）: 0286-4835
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : シーエムシー出版
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZM16
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z14-909
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 034348225; http://id.ndl.go.jp/bib/034348225
• 整理区分コード: 632