本文へ移動
酸化グラフェン触媒を...

酸化グラフェン触媒を用いた半導体の化学エッチング (特集 先端半導体へ向けたエッチング技術の開発動向)

記事を表すアイコン

酸化グラフェン触媒を用いた半導体の化学エッチング

(特集 先端半導体へ向けたエッチング技術の開発動向)

国立国会図書館請求記号
Z74-H900
国立国会図書館書誌ID
034615425
資料種別
記事
著者
宇都宮 徹
出版者
東京 : 技術情報協会 = Technical Information Institute
出版年
2026-02
資料形態
掲載誌名
Electronics stage = エレクトロニクスステージ / 技術情報協会 編 1(5)=5:2026.2
掲載ページ
p.13-17
詳細を見る

全国の図書館の所蔵

国立国会図書館サーチが連携している各図書館等から取得した所蔵情報を表示します。

所蔵館、利用可否等の詳細・最新状況は情報提供元の各館のサイト・データベースで直接ご確認ください。所蔵館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください。詳細は ヘルプ をご覧ください。

その他

  • CiNii Research

    検索サービス
    遷移先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。

書誌情報

この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。

資料種別
記事
著者・編者
宇都宮 徹
著者標目
タイトル(掲載誌)
Electronics stage = エレクトロニクスステージ / 技術情報協会 編
巻号年月日等(掲載誌)
1(5)=5:2026.2
掲載巻
1
掲載号
5
掲載通号
5
掲載ページ
13-17
掲載年月日(W3CDTF)
2026-02
ISSN(掲載誌)
2760-3326
ISSN-L(掲載誌)
2760-3326
出版事項(掲載誌)
東京 : 技術情報協会 = Technical Information Institute
出版地(国名コード)
JP
本文の言語コード
jpn
NDLC
対象利用者
一般
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Z74-H900
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
書誌ID(NDLBibID)
034615425
整理区分コード
632