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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 坂本 直道安野 拓也向後 保雄
- 並列タイトル等
- Deposition and etching properties in production of DLC using FIB-CVD method
- タイトル(掲載誌)
- いわき明星大学科学技術学部研究紀要 = Research bulletin of Iwaki Meisei University College of Science and Engineering
- 巻号年月日等(掲載誌)
- (21) 2008.3
- 掲載号
- 21
- 掲載ページ
- 9~14
- 掲載年月日(W3CDTF)
- 2008-03