スパッタによるタング...

スパッタによるタングステン膜の特性と4μmグレーティングの製作

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スパッタによるタングステン膜の特性と4μmグレーティングの製作

国立国会図書館請求記号
Z22-529
国立国会図書館書誌ID
3006321
資料種別
記事
著者
山本 稔ほか
出版者
調布 : 電気通信大学
出版年
1984-08
資料形態
掲載誌名
電気通信大学学報 / 電気通信大学 編 35(1) 1984.08
掲載ページ
p.p7~12
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
山本 稔
岡本 孝太郎
今井 哲二
タイトル(掲載誌)
電気通信大学学報 / 電気通信大学 編
巻号年月日等(掲載誌)
35(1) 1984.08
掲載巻
35
掲載号
1
掲載ページ
p7~12
掲載年月日(W3CDTF)
1984-08