プラズマCVDにより作製したSi-B-N膜の電気的,機械的特性
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 倉増 敬三郎是近 哲広坂口 誠一郎 他
- タイトル（掲載誌）
- 日本機械学会論文集. A編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 62(604) 1996.12
- 掲載巻
- 62
- 掲載号
- 604
- 掲載ページ
- 2645～2650
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1996-12