メタルマスクの環境対応洗浄技術(特集 エレクトロニクス分野における環境保全技術--半導体分野,実装技術分野の具体的対応事例 ; 実装技術分野の環境保全技術)

• 資料種別: 記事
• タイトル: メタルマスクの環境対応洗浄技術
• 著者・編者: 居森 奈穂子
• シリーズタイトル: 特集 エレクトロニクス分野における環境保全技術--半導体分野,実装技術分野の具体的対応事例 ; 実装技術分野の環境保全技術
• 著者標目: 居森 奈穂子
• タイトル（掲載誌）: 電子材料
• 巻号年月日等（掲載誌）: 39(4) 2000.04
• 掲載巻: 39
• 掲載号: 4
• 掲載ページ: 105～107
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2000-04
• ISSN（掲載誌）: 0387-0774
• ISSN-L（掲載誌）: 0387-0774
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 工業調査会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（障害者向け資料：レベル2）: プレーンテキスト
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-225
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/3280765; https://dl.ndl.go.jp/pid/3280765
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 5361004; http://id.ndl.go.jp/bib/5361004
• 整理区分コード: 632