スパッタリングプロセス中の不純物制御による機能性磁性薄膜の微細組織制御 (小特集「真空利用プロセスの診断と制御:最近の進展」)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 高橋 研角田 匡清David D. Djayaprawira
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 44(7) 2001.7
- 掲載巻
- 44
- 掲載号
- 7
- 掲載ページ
- 631～648