超高密度スパッタリン...

超高密度スパッタリングターゲット用ITO粉末の開発 (特集 電子・情報関連)

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超高密度スパッタリングターゲット用ITO粉末の開発

(特集 電子・情報関連)

国立国会図書館請求記号
Z17-219
国立国会図書館書誌ID
6378181
資料種別
記事
著者
藤原 進治ほか
出版者
東京 : 住友化学
出版年
2002-12
資料形態
掲載誌名
住友化学 : 技術誌 2002(2) 2002.12
掲載ページ
p.4~8
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
藤原 進治
黒飛 義樹
沢辺 佳成 他
シリーズタイトル
タイトル(掲載誌)
住友化学 : 技術誌
巻号年月日等(掲載誌)
2002(2) 2002.12
掲載巻
2002
掲載号
2
掲載ページ
4~8