シリコン粒子吸着-溶媒抽出-ガスクロマトグラフィー/質量分析法によるクリーンルーム大気中の分子状有機物質の定量

• 資料種別: 記事
• タイトル: シリコン粒子吸着-溶媒抽出-ガスクロマトグラフィー/質量分析法によるクリーンルーム大気中の分子状有機物質の定量
• 著者・編者: 佐藤 友香; 酒井 公人; 玉置 真希子 他
• 著者標目: 佐藤 友香; 酒井 公人; 玉置 真希子
• タイトル（掲載誌）: 分析化学 / 日本分析化学会 編
• 巻号年月日等（掲載誌）: 53(10) 2004.10
• 掲載巻: 53
• 掲載号: 10
• 掲載ページ: 1149～1155
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2004-10
• ISSN（掲載誌）: 0525-1931
• ISSN-L（掲載誌）: 0525-1931
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本分析化学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: solvent extraction; silicon powder adsorbent; clean room; airborne organic contaminant
• NDLC: ZP4
• 対象利用者: 一般
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z17-9
• 関連情報（URI）: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10895915
• 関連情報（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10895915; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10895915
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 7121170; http://id.ndl.go.jp/bib/7121170
• 整理区分コード: 632

• 要約等: Some airborne organic contaminants in clean rooms for semiconductor manufacturing are unstable with respect to heating, and are easily adsorbed by sil...