Focus Variationによる高アスペクト比形状の非接触計測に関する研究

• 資料種別: 記事
• タイトル: Focus Variationによる高アスペクト比形状の非接触計測に関する研究
• 巻次・部編番号: 2015S; 0
• 著者・編者: 小出石 達樹; 臼杵 深; 三浦 憲二郎
• 著者標目: 小出石 達樹; Odeishi Tatsuki; 臼杵 深; Usuki Shin; 三浦 憲二郎; Miura Kenjiro
• 出版年月日等: 2015
• 出版年（W3CDTF）: 2015
• 並列タイトル等: The non-contact measurement of high aspect ratio shape by Focus Variation
• タイトル（掲載誌）: 精密工学会学術講演会講演論文集; Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2015S 0
• 掲載巻: 2015S
• 掲載号: 0
• 掲載ページ: 159-160
• 著者別名: Odeishi Tatsuki; Usuki Shin; Miura Kenjiro
• 件名標目: 光学顕微鏡; light microscopy; 非接触形状計測; non-contact shape measurement; 三次元局所分散; 3D local dispersion; Focus Variation
• 対象利用者: 一般
• DOI: 10.11522/pscjspe.2015S.0_159
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 連携機関・データベース: 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• 要約等: 精密部品加工技術の発展に伴い，微細な穴やピン等の高アスペクト比形状の非破壊検査が要求されている.本研究では，光学顕微鏡とFocus Variation技術を用いて高アスペクト比形状を非接触計測することを目的とする．Focus Variation技術における画像の合焦判定処理に三次元的な局所分散値を導...