Development of a Gas Jet-Type Z-Pinch EUV Light Source for Next-Generation Lithography

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資料種別: 記事
タイトル: Development of a Gas Jet-Type Z-Pinch EUV Light Source for Next-Generation Lithography
著者・編者: 堀岡, 一彦
HORIOKA, KAZUHIKO
著者標目: 堀岡, 一彦
HORIOKA, KAZUHIKO
出版年月日等: 2005-09
出版年（W3CDTF）: 2005-09
タイトル（掲載誌）: Journal of Plasma Fusion Research
巻号年月日等（掲載誌）: 81 9
掲載巻: 81
掲載号: 9
掲載ページ: 647-648
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
一般注記: 出版タイプ： NA
identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:00204994
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
提供元機関・データベース: 東京科学大学 : 東京科学大学リサーチリポジトリ(T2R2)