Studies on effect of excitation frequency on neutral radicals in very high frequency capacitively coupled plasma

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Studies on effect of excitation frequency on neutral radicals in very high frequency capacitively coupled plasma
• 著者・編者: Ohta, Takayuki
• 著者標目: Ohta, Takayuki
• 出版年月日等: 2004-03-25
• 出版年（W3CDTF）: 2004
• 並列タイトル等: VHF容量結合プラズマ中の中性ラジカルにおける励起周波数の効果に関する研究
• 授与機関名: 名古屋大学; Nagoya University
• 報告番号: 甲第6268号
• 学位: 博士(工学)
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (課程) 学位授与年月日:平成16年3月25日
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• 一次資料へのリンクURL: ko6268.pdf （fulltext）; https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/9773/files/ko6268.pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 名古屋大学 : 名古屋大学学術機関リポジトリ

• 要約等: The effect of the excitation frequency on the neutral radical and the contribution to the film deposition in VHF-CCP was investigated in this thesis. ...