Formation of low resistivity layers on singlecrystalline diamond by excimer laser irradiation

• 資料種別: 記事
• タイトル: Formation of low resistivity layers on singlecrystalline diamond by excimer laser irradiation
• 著者・編者: Abubakr, Eslam; ザカリア, アブドラハマン; 片宗, 優貴; 大曲, 新矢; 妹川, 要; 池上, 浩; 吉武, 剛
• 著者標目: Abubakr, Eslam
• 出版事項: Elsevier
• 出版年月日等: 2019-05
• 出版年（W3CDTF）: 2019
• タイトル（掲載誌）: Diamond and Related Materials
• 巻号年月日等（掲載誌）: 95
• 掲載巻: 95
• 掲載ページ: 166-173
• ISSN（掲載誌）: PISSN : 0925-9635; EISSN : 1879-0062
• 件名標目: Singlecrystalline diamond; ArF excimer laser; Liquid dopant source; Electrical conductivity; Ohmic contacts
• 対象利用者: 一般
• 関連情報（DOI）: 10.1016/j.diamond.2019.04.013; https://doi.org/10.1016/j.diamond.2019.04.013
• 掲載誌（NCID）: AA10819710; https://ci.nii.ac.jp/ncid/AA10819710
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 九州大学学術情報リポジトリ(QIR); https://www.lib.kyushu-u.ac.jp/papers

• 要約等: A singlecrystalline diamond (100)(Ib) plate immersed in 2% boric acid was irradiated by 193-nm ArF excimer laser beams for the formation of conductive...