Evaluation of silicon nitride (Si[3]N[4]) and aluminum nitride (AlN) powder surfaces by temperature programmed desorption (TPD) technique

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Evaluation of silicon nitride (Si[3]N[4]) and aluminum nitride (AlN) powder surfaces by temperature programmed desorption (TPD) technique
• 著者・編者: 齋藤成輝 [著]
• 著者標目: 齋藤, 成輝 サイトウ, ナルキ
• 並列タイトル等: 昇温脱離 (TPD) 法による窒化ケイ素粉末と窒化アルミニウム粉末の表面不純物層の評価 ショウオン ダツリ (TPD) ホウ ニ ヨル チッカ ケイソ フンマツ ト チッカ アルミニウム フンマツ ノ ヒョウメン フジュンブツソウ ノ ヒョウカ
• 授与機関名: 長岡技術科学大学
• 授与年月日: 平成9年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1997
• 報告番号: 甲第137号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-97-J446
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000309391; http://id.ndl.go.jp/bib/000000309391
• 整理区分コード: 213

目次

CONTENTS

Acknowledgments

1.INTRODUCTION

1.1 General Introduction

1.2 Influence of Powder Surface Chemistry on Processing of Nitride Ceramics