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目次
論文目録
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p1
第1章 緒言
p1
1-1 セラミックス薄膜研究とエリプソメトリー
p1
1-2 エリプソメトリーの歴史的背景と既往の研究
p2
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 馬躍飛 [著]
- 著者標目
- 馬, 躍飛 マ, ヤクヒ
- 並列タイトル等
- ダイヤモンド薄膜および酸化物多層薄膜の分光エリプソメトリー ダイヤモンド ハクマク オヨビ サンカブツ タソウ ハクマク ノ ブンコウ エリプソメトリー
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 平成10年3月26日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1998
- 報告番号
- 甲第3684号
- 学位
- 博士 (工学)