高分解能電子顕微鏡断面観察法による半導体ヘテロエピタキシャル界面構造の研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 高分解能電子顕微鏡断面観察法による半導体ヘテロエピタキシャル界面構造の研究
• タイトルよみ: コウブンカイノウ デンシ ケンビキョウ ダンメン カンサツホウ ニ ヨル ハンドウタイ ヘテロエピタキシャル カイメン コウゾウ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 五十嵐信行 [著]
• 著者標目: 五十嵐, 信行 イガラシ, ノブユキ
• 授与機関名: 東京工業大学
• 授与年月日: 平成9年9月30日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1997
• 報告番号: 乙第3077号
• 学位: 博士 (理学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-98-Y358
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000329857; http://id.ndl.go.jp/bib/000000329857
• 整理区分コード: 213

目次

論文目録

目次

第1章 序論

1.1 はじめに

1.2 半導体ヘテロエピタキシャル界面の形成技術及び評価技術