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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p1
1.始めに
p3
2.赤外散乱トモグラフィ (Infrared light scattering tomography:IR-LST)技術
p6
2.1 赤外線散乱トモグラフィによる欠陥観察
p6
2.2 散乱光強度の補止とノイズ除去
p13
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- セキガイ サンラン トモグラフィ ニ ヨル シリコン タンケッショウ ノ ヒョウカ ギジュツ
- 著者・編者
- 南郷脩史 [著]
- 著者標目
- 南郷, 脩史 ナンゴウ, ノブヒト
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2001]
- 出版年(W3CDTF)
- 2001
- 数量
- 2冊
- 授与機関名
- 学習院大学