シリコン結晶・ウェーハ技術の課題 : 大口径化,平坦化
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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 4-947655-65-8
- タイトルよみ
- シリコン ケッショウ ウェーハ ギジュツ ノ カダイ
- 著者・編者
- 岸野正剛 編
- 著者標目
- 岸野, 正剛, 1938- キシノ, セイゴウ, 1938- ( 00149113 )典拠
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1994.1
- 出版年（W3CDTF）
- 1994
- 数量
- 346, 6p