第一回SEMIマイクロマシン/MEMSセミナー : 講演予稿集

• 資料種別: 図書
• タイトル: 第一回SEMIマイクロマシン/MEMSセミナー : 講演予稿集
• タイトルよみ: ダイ イッカイ SEMI マイクロマシン MEMS セミナー : コウエン ヨコウシュウ
• 著者・編者: 江刺正喜, 斉藤洋子 編
• シリーズタイトル: STEP ; 96-7
• 著者標目: 江刺, 正喜, 1949- エサシ, マサヨシ, 1949- ( 00154561 )典拠; 斉藤, 洋子, 1959- サイトウ, ヨウコ, 1959- ( 00366878 )典拠
• 出版事項: 東京 : SEMIジャパン
• 出版年月日等: 1996.12
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 55p
• 大きさ: 30cm
• 並列タイトル等: SEMI micromachine/MEMS seminar 96
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: マイクロマシン--会議録 マイクロマシン カイギロク ( 00657726 )典拠
• NDC9版: 530.4 : 機械工学
• NDLC: NB21
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 会期: 1996年12月3日
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: NB21-G25
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000002600446; http://id.ndl.go.jp/bib/000002600446
• 全国書誌番号: 98031054
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

目次

セッション１

９：３０ー　開会挨拶

９：４０ー　Ｍｉｃｒｏｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ，Ｍｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍｓ：Ｅｕｒｏｐｅａｎ　Ａｃｔｉ ｖｉｔｉｅｓ　ａｎｄ　Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ　Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ

１０：４０ー　高アスペクト比微細構造デバイス

１１：４０ー　昼食