Spectroscopic characterization techniques for semiconductor technology II : January 21-22, 1985, Los Angeles, California / Fred H. Pollak, chairman/editor.
(Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; v. 524)
国立国会図書館請求記号
M15-A1320
国立国会図書館書誌ID
000003126293
資料種別
図書
著者
Pollak, Fred H.ほか
出版者
SPIE--the International Society for Optical Engineering