300mm Physical Interfaces and Carriers SEAJ/SEMI Joint Seminar, Tuesday, February 25. 1997 ... Tokyo, Japan / planned by 300mm Physical Interfaces and Carriers SEAJ/SEMI-J Joint Committee ; [editors, Terry Asakawa, Naoko Tani, Mihoko Ichinose].

• 資料種別: 図書
• タイトル: 300mm Physical Interfaces and Carriers SEAJ/SEMI Joint Seminar, Tuesday, February 25. 1997 ... Tokyo, Japan / planned by 300mm Physical Interfaces and Carriers SEAJ/SEMI-J Joint Committee ; [editors, Terry Asakawa, Naoko Tani, Mihoko Ichinose].
• 版: 2nd ed.
• 著者標目: 300mm Physical Interfaces and Carriers SEAJ/SEMI Joint Seminar (1997 : Tokyo); 浅川, 輝雄 アサカワ, テルオ ( 00818513 )典拠; Tani, Naoko. [谷奈穂子 ]; Itinose, Mihoko. [一瀬美保子]; 日本半導体製造装置協会 ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ ( 00293650 )典拠; Semiconductor Equipment and Materials International.
• 出版事項: Tokyo : SEMI-Japan
• 出版年月日等: 1997.
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 1 v. (various pagings) : ill. ; 30 cm.
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng; jpn
• 著者別名: Asakawa, Terry.; Ichinose, Mihoko. [一瀬美保子]
• NDLC: M18; ND371
• 一般注記: "予稿集"--Colophon.; English and/or Japanese.; Cover title.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M18-A198
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003255548; http://id.ndl.go.jp/bib/000003255548
• 整理区分コード: 211