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Advanced metallization for ULSI applications in 1993 : 10th Conference : Oct 1993, San Diego, CA.

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Advanced metallization for ULSI applications in 1993 : 10th Conference : Oct 1993, San Diego, CA.

国立国会図書館請求記号
M17-94-1293
国立国会図書館書誌ID
000003494257
資料種別
図書
著者
University of California, Berkeley. University Extension. Continuing Education in Engineering.
出版者
-
出版年
-
資料形態
ページ数・大きさ等
v.
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

Papers.Also held in Tokyo, Japan. (Materials Research Society Conference Proceedings)Index term: advanced metallization ; ULSI applications ; metalliz...

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
1558992359
ISSN
1048-0854
数量
v.
並列タイトル等
Also held in Tokyo, Japan. (Materials Research Society Conference Proceedings)
advanced metallization ; ULSI applications ; metallization
NDLC
一般注記
Papers.
Also held in Tokyo, Japan. (Materials Research Society Conference Proceedings)
Index term: advanced metallization ; ULSI applications ; metallization.
所蔵機関
国立国会図書館