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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- 出版事項
- 出版年月日等
- c2000.
- 出版年(W3CDTF)
- 2000
- 数量
- v.
- 並列タイトル等
- semi : benchmarking as a management tool : SEMICON West 2000 : technicaal programs for the semiconductor and flat panel display equipment and materials industries
- NDLC
- 一般注記
- Presentations.