Electrochemical processing in ULSI fabrication 3 : proceedings of the international symposium. : 197th meeting of the Electrochemical Society : May 2000, Toronto, Canada.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 1566772737
• タイトル: Electrochemical processing in ULSI fabrication 3 : proceedings of the international symposium. : 197th meeting of the Electrochemical Society : May 2000, Toronto, Canada.
• シリーズタイトル: PV ; 2000-8
• タイトル標目: Proceedings (Electrochemical Society) ; v.2000-8.
• 著者標目: Andricacos, Panayotis C., 1951-; Electrochemical Society. Meeting (197th : 2000 : Toronto, Ont.); Symposium on Electrochemical Processing in ULSI Fabrication (3rd : 2000 : Toronto, Ont.)
• 出版事項: Pennington : Electrochemical Society
• 出版年月日等: c2002.
• 出版年（W3CDTF）: 2002
• 数量: viii, 258 p. : ill. ; 24 cm.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Integrated circuits -- Ultra large scale integration -- Design and construction -- Congresses.; Integrated circuits -- Ultra large scale integration -- Materials -- Congresses.; Semiconductors -- Design and construction -- Congresses.; Dielectrics -- Congresses.; Electrochemical metallizing -- Congresses.; Electric contacts -- Congresses.
• NDLC: M17
• 一般注記: Papers.
• 書誌注記: Includes bibliographic references and indexes.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-03-3739
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004213410; http://id.ndl.go.jp/bib/000004213410
• RLIN番号: CUBGGLAD184906929-B
• 整理区分コード: 215