Development of solid state moisture sensors for semiconductor fabrication applications

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Development of solid state moisture sensors for semiconductor fabrication applications
• 著者・編者: Pfeifer, K. B; Kelly, M. J; Guilinger, T. R; Peterson, D. W; Sweet, J. N
• 出版年月日等: 1994
• 出版年（W3CDTF）: 1994
• 数量: 12 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-94-1533C; テクニカルリポート番号 : DE94 015771; テクニカルリポート番号 : CONF-94101611
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE94/015771
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005500882; http://id.ndl.go.jp/bib/000005500882
• 整理区分コード: 291