Evaporation rate and composition monitoring of electron beam PVD processes

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Evaporation rate and composition monitoring of electron beam PVD processes
• 著者・編者: Anklam, T. M; Berzins, L. V; Braun, D. G; Haynam, C; Meier, T
• 出版年月日等: 1995
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 18 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : UCRL-JC-118759; テクニカルリポート番号 : DE95 015423; テクニカルリポート番号 : CONF-9504548
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE95/015423
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005536743; http://id.ndl.go.jp/bib/000005536743
• 整理区分コード: 291