マイクロマシニングによる超小型真空ポンプの開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: マイクロマシニングによる超小型真空ポンプの開発
• タイトルよみ: マイクロマシニング ニ ヨル チョウコガタ シンクウ ポンプ ノ カイハツ
• 著者・編者: 稲葉, 成基, 岐阜工業高等専門学校
• 著者標目: 稲葉, 成基 イナバ, セイキ
• 出版年月日等: 1991-1993
• 出版年（W3CDTF）: 1991
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: マイクロマシニング マイクロマシニング; 超小型真空ポンプ チヨウコガタシンクウポンプ; 光学式アクチユエータ コウガクシキアクチユエータ; 形状記憶合金 ケイジヨウキオクゴウキン; レーザダイオード レーザダイオード; 光熱効果 コウネツコウカ; 超小型片持ばり チヨウコガタカタモチバリ; 水流ポンプ スイリユウポンプ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 03650220
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H03650220
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006983660; http://id.ndl.go.jp/bib/000006983660
• 整理区分コード: 214