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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトル
- タイトルよみ
- 3 ジゲン ナノメートル ブンセキ ギジュツ ノ カイハツ
- 著者・編者
- 高井, 幹夫, 大阪大学
- 著者標目
- 高井, 幹夫 タカイ, ミキオ
- 出版年月日等
- 1996-1998
- 出版年(W3CDTF)
- 1996
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 国際学術研究
- 件名標目
- イオンマイクロプローブ イオンマイクロプローブ集束イオンビーム シユウソクイオンビームTOF-SIMS TOF-SIMSナノフアブリケーシヨン ナノフアブリケーシヨンナノメートル3次元分析 ナノメートル3ジゲンブンセキ電界放射電子源 デンカイホウシヤデンシゲンプロセス誘起欠陥 プロセスユウキケツカンナノ構造 ナノコウゾウ