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図書

ナノ・メータ領域用変位較正システムに関する研究

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ナノ・メータ領域用変位較正システムに関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H09650127
国立国会図書館書誌ID
000007020007
資料種別
図書
著者
奥山, 栄樹, 秋田大学
出版者
-
出版年
1997-1998
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ナノ ・ メータ リョウイキヨウ ヘンイ コウセイ システム ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
奥山, 栄樹, 秋田大学
著者標目
奥山, 栄樹 オクヤマ, エイキ
出版年月日等
1997-1998
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
サブ・ナノ・メータ サブ・ナノ・メータ
変位較正システム ヘンイコウセイシステム
結晶格子 ケツシヨウコウシ
ノツチ型ヒンジ ノツチガタヒンジ
STM STM