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シンクロトロン放射X線散慢散乱ラジオグラフイによるシリコン微小欠陥の検出

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シンクロトロン放射X線散慢散乱ラジオグラフイによるシリコン微小欠陥の検出

国立国会図書館請求記号
Y151-S62580041
国立国会図書館書誌ID
000007032722
資料種別
図書
著者
近浦, 吉則, 九州工業大学
出版者
-
出版年
1987-1988
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
シンクロトロン ホウシャ Xセンサンマンサンラン ラジオグラフイ ニ ヨル シリコン ビショウ ケッカン ノ ケンシュツ
著者・編者
近浦, 吉則, 九州工業大学
著者標目
近浦, 吉則 チカウラ, ヨシノリ
出版年月日等
1987-1988
出版年(W3CDTF)
1987
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
X線散乱ラジオグラフイ Xセンサンランラジオグラフイ
シリコン シリコン
微小欠陥 ビシヨウケツカン
X線トポグラフイ Xセントポグラフイ
薄いシリコン ウスイシリコン
平面波トポグラフイ ヘイメンハトポグラフイ