プラズマパルス堆積法によるダイヤモンド状炭素薄膜の作製と構造制御に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: プラズマパルス堆積法によるダイヤモンド状炭素薄膜の作製と構造制御に関する研究
• タイトルよみ: プラズマ パルス タイセキホウ ニ ヨル ダイヤモンドジョウ タンソ ハクマク ノ サクセイ ト コウゾウ セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 山田秀雄 [著]
• 著者標目: 山田, 秀雄 ヤマダ, ヒデオ
• 出版事項: [山田秀雄]
• 出版年月日等: [2001]
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 東京工業大学
• 授与年月日: 平成13年7月31日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2001
• 報告番号: 乙第3550号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2004-G351
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007472918; http://id.ndl.go.jp/bib/000007472918
• 整理区分コード: 213