サブ10ナノメータ級新構造Si MOSFET/SOIの研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: サブ10ナノメータ級新構造Si MOSFET/SOIの研究
• タイトルよみ: サブ 10ナノメータキュウ シンコウゾウ Si MOSFET SOI ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 酒井徹志, 東京工業大学 [著]
• 著者標目: 酒井, 徹志 サカイ, テツシ; 東京工業大学 トウキョウ コウギョウ ダイガク
• 出版事項: [酒井徹志]
• 出版年月日等: 2001-2002; 2004.6
• 出版年（W3CDTF）: 2001; 2002
• 数量: 137枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: サブ10ナノメータ / MOSFET/SOI / 短チャネル効果 / 駆動電流 / 高誘電率ゲート絶縁膜 / SiGe / ECRスパッタ サブ 10ナノ メータ / MOSFET/SOI / タンチャネル コウカ / クドウ デンリュウ / コウユウデンリツ ゲート ゼツエンマク / SiGe / ECR スパッタ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13450138
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13450138
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007623438; http://id.ndl.go.jp/bib/000007623438
• 整理区分コード: 214