低加速FIBによる化合物半導体のマスクレス極微領域選択エピタキシーに関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 低加速FIBによる化合物半導体のマスクレス極微領域選択エピタキシーに関する研究
• タイトルよみ: テイカソク FIB ニ ヨル カゴウブツ ハンドウタイ ノ マスクレス キョクビ リョウイキ センタク エピタキシー ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 朴康司, 豊橋技術科学大学 [著]
• 著者標目: 朴, 康司 パク, カンサ; 豊橋技術科学大学 トヨハシ ギジュツ カガク ダイガク
• 出版事項: [朴康司]
• 出版年月日等: 2002-2003; 2004.10
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2003
• 数量: 40枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 著者別名: Pak, Kangsa
• 件名標目: FIB / GaAs / マスクレス / 選択エピタキシー / 化合物半導体 FIB / GaAs / マスクレス / センタク エピタキシー / カゴウブツ ハンドウタイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14550298
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14550298
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007684334; http://id.ndl.go.jp/bib/000007684334
• 整理区分コード: 214