高精度X線リソグラフィーのためのマスク歪補償技術の研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 高精度X線リソグラフィーのためのマスク歪補償技術の研究
• タイトルよみ: コウセイド Xセン リソグラフィー ノ タメノ マスク ヒズミ ホショウ ギジュツ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 室岡賢一 [著]
• 著者標目: 室岡, 賢一 ムロオカ, ケンイチ
• 出版事項: [室岡賢一]
• 出版年月日等: 2003
• 出版年（W3CDTF）: 2003
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 東京大学
• 授与年月日: 平成15年9月16日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2003
• 報告番号: 乙第15772号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2005-B233
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007767037; http://id.ndl.go.jp/bib/000007767037
• 整理区分コード: 213