EMLC 2005 : 21st European mask and lithography conference : 31 January-3 February 2005 : Dresden, Germany. : Jan 2005, Dresden, Germany. (SPIE Proceedings ; 5835)

EMLC 2005 : 21st European mask and lithography conference : 31 January-3 February 2005 : Dresden, Germany. : Jan 2005, Dresden, Germany.

(SPIE Proceedings ; 5835)

国立国会図書館請求記号: M17-05-2132
国立国会図書館書誌ID: 000007915089

資料種別: 図書

著者: VDE/VDI. Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (GMM)ほか

出版者: SPIE

出版年: c2005.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: xxx, 302 p. : ill. ; 28 cm.

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: Papers."The EMLC is an internationally recognized meeting that has annually brought together scientists, (...) " -- foreword.

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 0819458309
ISSN（シリーズ）: 0277-786X
タイトル: EMLC 2005 : 21st European mask and lithography conference : 31 January-3 February 2005 : Dresden, Germany. : Jan 2005, Dresden, Germany.
シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 5835
著者標目: VDE/VDI. Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (GMM)
Forschungszentrum Karlsruhe. Institute for Microstructure Technology.
出版事項: Bellingham : SPIE
Berlin : VDE Verlag
出版年月日等: c2005.
出版年（W3CDTF）: 2005
数量: xxx, 302 p. : ill. ; 28 cm.
出版地（国名コード）: US
NDLC: M17
一般注記: Papers.
"The EMLC is an internationally recognized meeting that has annually brought together scientists, (...) " -- foreword.
書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-05-2132
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000007915089
http://id.ndl.go.jp/bib/000007915089
整理区分コード: 215