超音波基板励振によるコーティング膜の残留応力制御法の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 超音波基板励振によるコーティング膜の残留応力制御法の開発
• タイトルよみ: チョウオンパ キバン レイシン ニ ヨル コーティングマク ノ ザンリュウ オウリョク セイギョホウ ノ カイハツ
• 著者・編者: 松室昭仁, 名古屋大学 [著]
• 著者標目: 松室, 昭仁 マツムロ, アキヒト; 名古屋大学 ナゴヤ ダイガク
• 出版事項: [松室昭仁]
• 出版年月日等: 2003-2004; 2005.3
• 出版年（W3CDTF）: 2003; 2004
• 数量: 116p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 薄膜 / 残留応力制御 / 基板励振 / システム開発 / 結晶性薄膜 / モデル化 ハクマク / ザンリュウ オウリョク セイギョ / キバンレイシン / システム カイハツ / ケッショウセイ ハクマク / モデルカ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 15360052
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H15360052
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007930778; http://id.ndl.go.jp/bib/000007930778
• 整理区分コード: 214