シリコン・イオン注入した酸化膜を持つMOS構造による可視発光素子の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: シリコン・イオン注入した酸化膜を持つMOS構造による可視発光素子の研究
• タイトルよみ: シリコン イオン チュウニュウシタ サンカマク オ モツ MOS コウゾウ ニ ヨル カシ ハッコウ ソシ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 松田敏弘, 富山県立大学 [著]
• 著者標目: 松田, 敏弘 マツダ, トシヒロ; 富山県立大学 トヤマ ケンリツ ダイガク
• 出版事項: [松田敏弘]
• 出版年月日等: 2003-2004; 2005.3
• 出版年（W3CDTF）: 2003; 2004
• 数量: 67p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: イオン注入 / MOS容量 / 発光 / エレクトロルミネッセンス / イオン・ビーム・スパッタ / 透明電極 イオン チュウニュウ / MOS ヨウリョウ / ハッコウ / エレクトロルミネッセンス / イオン ・ ビーム ・ スパッタ / トウメイ デンキョク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 15560280
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H15560280
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007965500; http://id.ndl.go.jp/bib/000007965500
• 整理区分コード: 214