Microelectromechanical systems -- materials and devices 2 : symposium held December 1-2, 2008, Boston, Massachusetts, U.S.A. : symposium GG, "microelectromechanical systems -- materials and devices 2" : 2008 MRS fall meeting : Dec 2008, Boston, MA.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9781605111117
• タイトル: Microelectromechanical systems -- materials and devices 2 : symposium held December 1-2, 2008, Boston, Massachusetts, U.S.A. : symposium GG, "microelectromechanical systems -- materials and devices 2" : 2008 MRS fall meeting : Dec 2008, Boston, MA.
• シリーズタイトル: Materials Research Society Symposia Proceedings ; 1139
• タイトル標目: Materials Research Society symposia proceedings ; v. 1139.
• 著者標目: Vengallatore, Srikar.; Materials Research Society. Meeting (2008 : Boston, Mass.); Symposium GG, "Microelectromechanical Systems -- Materials and Devices II" (2008 : Boston, Mass.)
• 出版事項: Warrendale : Materials Research Society
• 出版年月日等: c2009.
• 出版年（W3CDTF）: 2009
• 数量: xi, 247 p. : ill. ; 24 cm.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Microelectromechanical systems -- Materials -- Congresses.; Microelectromechanical systems -- Congresses.; Thin films -- Congresses.; Nanostructured materials -- Congresses.; Silicon -- Congresses.
• LCC: TK7875
• DDC: 621.381
• NDLC: M17
• 一般注記: Papers.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and indexes.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-10-472
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000010437097; http://id.ndl.go.jp/bib/000010437097
• OCLC番号: 426482855; https://www.worldcat.org/oclc/426482855
• 整理区分コード: 215