Design for manufacturability through design-process integration 7 : 27-28 February 2013 : San Jose, California, United States : SPIE conference on design for manufacturability through design-process integration (DfM-DPI) : Feb 2013, San Jose, CA. (SPIE Proceedings ; 8684)

Design for manufacturability through design-process integration 7 : 27-28 February 2013 : San Jose, California, United States : SPIE conference on design for manufacturability through design-process integration (DfM-DPI) : Feb 2013, San Jose, CA.

(SPIE Proceedings ; 8684)

国立国会図書館請求記号: M17-13-3315
国立国会図書館書誌ID: 024618171

資料種別: 図書

著者: -

出版者: SPIE

出版年: c2013.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 1 v. (various pagings) ; 28 cm.

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: Papers."Now in our seventh year of the DfM-DPI conference, (...)" -- introd.

形態の詳細：: ill.

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 9780819494665
ISSN（シリーズ）: 0277786X
タイトル: Design for manufacturability through design-process integration 7 : 27-28 February 2013 : San Jose, California, United States : SPIE conference on design for manufacturability through design-process integration (DfM-DPI) : Feb 2013, San Jose, CA.
シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 8684
出版事項: Bellingham : SPIE
出版年月日等: c2013.
出版年（W3CDTF）: 2013
数量: 1 v. (various pagings)
形態の詳細: ill.
大きさ: 28 cm.
その他のタイトル: SPIE advanced lithography.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
NDLC: M17
対象利用者: 一般
一般注記: Papers.
"Now in our seventh year of the DfM-DPI conference, (...)" -- introd.
書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-13-3315
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 024618171
http://id.ndl.go.jp/bib/024618171
目録規則: 英米目録規則
整理区分コード: 215