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図書
超平坦度研磨技術編 (技術と特許をつなぐパテントガイドブック. 半導体製造技術シリーズ)
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超平坦度研磨技術編
(技術と特許をつなぐパテントガイドブック. 半導体製造技術シリーズ)
国立国会図書館請求記号
M351-M219
国立国会図書館書誌ID
032039234
資料種別
図書
著者
-
出版者
ネオテクノロジー
出版年
2009.10
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
178 p, [1] 枚 (折り込み) ; 30 cm
NDC
549.8
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書誌情報
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書誌情報を出力
紙
資料種別
図書
タイトル
超平坦度研磨技術編
タイトルよみ
チョウ ヘイタンド ケンマ ギジュツヘン
シリーズタイトル
技術と特許をつなぐパテントガイドブック. 半導体製造技術シリーズ
出版事項
東京 : ネオテクノロジー (出版)
出版年月日等
2009.10
出版年(W3CDTF)
2009
数量
178 p, [1] 枚 (折り込み)
大きさ
30 cm
出版地(国名コード)
JP
本文の言語コード
jpn
表現種別
テキスト
機器種別
機器不用
キャリア種別
冊子
件名標目
半導体--特許--日本
ハンドウタイ トッキョ ニホン (
001109797
)
典拠
NDC10版
549.8 : 電子工学
NDLC
M351
ND371
対象利用者
一般
入手条件・定価
50000円
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
M351-M219
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
032039234
http://id.ndl.go.jp/bib/032039234
全国書誌番号
23663538
目録規則
日本目録規則2018年版
整理区分コード
111
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