SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY AND INTERFERENCE REFLECTOMETRY MEASUREMENTS OF CVD SILICON GROWN ON OXIDIZED SILICON (CONF ; CONF-9211127-2)

SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY AND INTERFERENCE REFLECTOMETRY MEASUREMENTS OF CVD SILICON GROWN ON OXIDIZED SILICON

(CONF ; CONF-9211127-2)

著者: JELLISON, G.E. JR.// KEEFER, M.// THORNQUIST, L. (OAK RIDGE NATIONAL LAB., TN (UNITED STATES))

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資料種別: 図書
タイトル: SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY AND INTERFERENCE REFLECTOMETRY MEASUREMENTS OF CVD SILICON GROWN ON OXIDIZED SILICON
著者・編者: JELLISON, G.E. JR.// KEEFER, M.// THORNQUIST, L. (OAK RIDGE NATIONAL LAB., TN (UNITED STATES))
シリーズタイトル: CONF ; CONF-9211127-2
著者標目: JELLISON, G.E. JR.
KEEFER, M.
THORNQUIST, L.
出版年月日等: 1992.
出版年（W3CDTF）: 1992
数量: 7
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/