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Improved electrical properties of <i>n-n</i> and <i>p-n</i> Si/SiC junctions with thermal annealing treatment

資料種別
記事
著者
梁, 剣波ほか
出版者
AIP Publishing
出版年
2016-07
資料形態
デジタル
掲載誌名
Journal of Applied Physics 120 3
掲載ページ
p.034504-
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資料詳細

要約等:

The effects of annealing process on the electrical properties of n^+-Si/n-SiC and p^+-Si/n-SiC junctions fabricated by using surface-activated bonding...

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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者標目
梁, 剣波 リョウ, ケンボ
西田, 将太 ニシダ, ショウタ
新井, 学 アライ, マナブ
重川, 直輝 シゲカワ, ナオテル
出版年月日等
2016-07
出版年(W3CDTF)
2016-07
タイトル(掲載誌)
Journal of Applied Physics
巻号年月日等(掲載誌)
120 3
掲載巻
120
掲載号
3
掲載ページ
034504-