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MEMS design, fabrication, characterization, and packaging : 30 May-1 June 2001, Edinburgh, UK

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MEMS design, fabrication, characterization, and packaging : 30 May-1 June 2001, Edinburgh, UK

資料種別
図書
著者
Uwe F. W. Behringer, Deepak G. Uttamchandani, chairs/editors ; sponsored ... by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cosponsored by Scottish Enterprise (UK) ; cooperating organizations, EOS--European Optical Society [and] IEE--the Institution of Electrical Engineers (UK)
出版者
SPIE
出版年
c2001
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
28 cm
NDC
-
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Includes bibliographical references and index

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紙

資料種別
図書
ISBN
0819441082
タイトル
MEMS design, fabrication, characterization, and packaging : 30 May-1 June 2001, Edinburgh, UK
著者・編者
Uwe F. W. Behringer, Deepak G. Uttamchandani, chairs/editors ; sponsored ... by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cosponsored by Scottish Enterprise (UK) ; cooperating organizations, EOS--European Optical Society [and] IEE--the Institution of Electrical Engineers (UK)
著者標目
Behringer, Uwe F. W.
Uttamchandani, Deepak
https://ci.nii.ac.jp/author/DA03898289外部サイト
Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
https://ci.nii.ac.jp/author/DA00848546外部サイト
Scottish Enterprise
https://ci.nii.ac.jp/author/DA13456695外部サイト
European Optical Society
https://ci.nii.ac.jp/author/DA09002606外部サイト
Institution of Electrical Engineers
https://ci.nii.ac.jp/author/DA00900952外部サイト
出版事項
SPIE
出版年月日等
c2001
出版年（W3CDTF）
2001
大きさ
28 cm
出版地（国名コード）
us